取扱製品｜美浜株式会社

清浄度測定

清浄度測定

クリーンルームとは

【浮遊粒子濃度が制御されており、室内における微小粒子の流入、生成及び停滞を最小限にするように建設され、使用され、また例えば、温度・湿度・圧力などが必要に応じて制御されている部屋】（ISO14644-1）と定義されています。弊社ではクリーンルームの清浄度測定・リークチェックを行っております。

清浄度について

クリーンルーム内の清浄度の指標として、単位体積に含まれる粒子の数でクラス分けが行われます。

ISO基準 14644-1(JIS 準拠)

クラス 最大空中塵埃数 /立方メートル 米国209E
基準相当値
≥0.1 ㎛ ≥0.2 ㎛ ≥0.3 ㎛ ≥0.5 ㎛ ≥1 ㎛ ≥5 ㎛
ISO 1 10 2.37 1.02 0.35 0.083 0.0029  
ISO 2 100 23.7 10.2 3.5 0.83 0.029  
ISO 3 1,000 237 102 35 8.3 0.29 クラス 1
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83 2.9 クラス 10
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 クラス 100
ISO 6 1.0×106 237,000 102,000 35,200 8,320 293 クラス 1,000
ISO 7 1.0×107 2.37×106 1.020,000 352,000 83,200 2,930 クラス 10,000
ISO 8 1.0×108 2.37×107 1.02×107 3,520,000 832,000 29,300 クラス 100,000
ISO 9 1.0×109 2.37×108 1.02×108 35,200,000 8,320,000 293,000 室内クラス

自然環境の塵埃濃度

場所・状況 塵埃濃度　個/ft3 ≧
成層圏 ≦100
農村地帯（雨上がり・無風） 100,000～300,000
住宅地 1,000,000～
就業中の事務所 2,000,000～5,000,000
工場地帯 5,000,000～10,000,000
喫煙を行う会議室 10,000,000～
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