阪和電子半導体解析装置：デバイスへの静電気耐圧試験およびラッチアップ試験
・Wafer ESD試験器：Wafer上でHBM、MMの試験が可能
HED-W5100D
 HED-W5100D |
仕様 |
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電源電圧 |
100V/20A 50/60Hz | ||
| 通信規格 | RS232C | ||
| 重量 | 約150kg | ||
| O/S | WindowsXP | ||
| 外形寸法 | 650(W) x 700(D) x 500(H) | ||
測 |
測定電圧 | 0 - ± 10V | |
| 測定電流精度 | 0.5± (1/500FS ± 10nA) | ||
| 測定ポイント数 | MAX 20ポイント | ||
| 測定結果出力 | 表形式・トレース形式・CSV保存形式 | ||
| 測定電流 | 0 - ± 100mA | ||
| 測定電圧ステップ | ± 0.1V | ||
| 測定テーブル | MAX 10テーブル | ||
パ |
充電電圧 | ± 0-4KV(1KV, 8KVはオプション） | |
| ステップ電圧 | ± 10V | ||
| 充電電圧精度 | 1% ± 5V | ||
| 試験スピード | 0.5s/ピン | ||
| インターバル時間 | 0.3 - 0.9s | ||
| 印加回数 | 1-99回 | ||
| 可動範囲 | 100mm x 100mm | ||
| 分解能 | 1.25μm | ||
特徴
1. 最大220mmのウエハーに対応
LED用からシステムLSIの大口径のウエハーまで、HBMとMMに対応した印加ができます。WSD印加後、V/I測定による破壊判定も可能になっています。
2. 印加ピンでの波形保証
ESD試験器HED-W5100Dは、出荷前キャリブレーションを印加ピンの場所で実施します。従って、パッケージ専用ESD試験器との相関取りを容易にし、試験効果を上げることができます。
3. 多様な規格波形への対応
JEITA、ESDA、JEDEC等の規格波形に対応しています。また、印加ユニットはプラグ・イン方式を採用し、お客様の要望に合った波形も準備できます。
4. TLP試験装置との接続
ESD試験と係わりの深いTLP試験装置との併用試験が可能です。ESD試験で問題の生じたデバイスに対し、保護回路の動作パラメータを取得するのに有効です。
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