　HED-W5000M

HED-W5000M	仕様
	パルス印加モデル	HBM/MM
	印加電圧	± 4KV - 8K/V
	印加電圧ステップ	± 10V
	印加回数	1-99回
	インターバル時間	0.3 - 0.9s
	X/Y軸移動範囲	8mm x 8mm (GNDピンのみ)
	Z軸移動範囲	8mm
	Z軸移動ステップ	0.058μm
	測定電圧	± 10V
	測定精度	0.5± (1/500FS ±1nA)
	外形寸法	740(W) x 550(D) x 610(H) 本体
	O/S	Windows2000/XP

特徴
1.　ウエハー上で波形保証
HBM、MMの規格波形をウエハー上で保証します。
2.　印加直後の破壊判定を自動化
パルス印加後、Vf/Im測定による破壊判定が可能です。
3.　フレンドリーな２ピン間選択
マニュピレータを操作して簡単に2ピン間の位置合わせが出来ます。

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