阪和電子半導体解析装置：デバイスへの静電気耐圧試験およびラッチアップ試験
・静電破壊装置：コンデンサ放電によるHBM、MMに対応した試験
HED-S5000-DCPC2シリーズ
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仕様 |
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| 128/256ピン | ||
| 標準コンデンサー/抵抗 | 200pF/0Ω | |
| オプション | 100pF/1500Ω, 10pF | |
| パルス電圧 | ±10V - ±4000V | |
| パルス電圧ステップ | Min. 10V | |
| パルス印加回数 | 1 - 99 times | |
| パルス間隔時間 | 0.3 - 9.9s | |
| 充電電圧精度 | 1% - ±5V | |
| 測定電圧 | ±40V (Step 0.1V) | |
| 電流測定精度 | 0.5± (1/500FS ±1ns) | |
| DC供給電源 | ±35V (Step 0.1V)/1A | |
| 外形寸法 | 1240(W) x 800(D) x 1480(H) | |
| 重量 | 100〜150kg | |
| O/S | Windows | |
| 電圧/電流 | 100V/15A | |
特徴
1. 単一放電経路の実現
全ての試験ピンに同じ放電経路を使用します。これらは放電波形の安定性、故障の軽減につながります。
2. 多様な規格波形への対応
日本、海外の規格に対応した信頼性の高い装置です。（JEITA規格、ESDA規格、JEDEC規格）
3. ラッチアップ試験への対応
パルス電流法、電源過電圧法、ESDパルス印加法への対応が可能です。