マノシスデジタル微差圧計 EMD7

 

製品概要:
圧力表示と警報出力機能(上限用、下限用各一ケ)を組み合わせたコンパクトなデジタル
微差圧計です。
・見やすい大形7セグメントLED4桁使用
NPNオープンコレクタ警報出力機能
・デジタル処理によるワンタッチオートゼロ機能

用途:
半導体製造装置のエアーフィルター微差圧計測など

形     式

EMD7(パネルマウント形)

圧力測定方式

測定ガス体

受圧エレメント

受圧エレメント耐圧

計器本体耐圧

使用周囲温度

使用周囲湿度

適 合 配 管

 

口 金 極 性

電気信号変換方式

表  示  部

 

ゼロ調整方式

警 報 出 力

 

 

 

 

 

 

絶 縁 抵 抗

耐  電  圧

電 源 電 圧

質     量

差圧式

空気および非腐食性ガス(液体は不可)

ダイヤフラム(シリコーンガム)

20kPa

20kPa

0~50℃(ただし氷結しないこと)

3585%RH以下(ただし結露しないこと

軟質塩化ビニル管又はゴム管(内径φ4、外径はφ6以内)(口金部は本体と一体成形)

配管接続口金部に高圧側「H」、低圧側「L」のマークにて表示

可変インダクタンス

7セグメントLED 赤色4桁 圧力表示/警報設定値表示 最大3

(最上位桁はモード表示)

プッシュ式ワンタッチオートゼロ

出力形式    NPNオープンコレクタ

        上限及び下限 各1

        最大負荷電流 100mA以下

        最大印加電圧 30V以下

        出力飽和電圧 1V以下

設定範囲    上限 0-100%F.S.

        下限 0-100%F.S.

端子―ケース間 10MΩ以上(500V DCメガー)

端子―ケース間 500V AC 50/60Hz 1分間

12V DC ±10%

2.4W

130g

圧力レンジコード

圧力レンジ

 

標準取付姿勢

精度

(20)

温度ドリフト

(ゼロ+スパン)

D100

D500

E5 

0~100 Pa

0~500 Pa

0~5 kPa

 

垂直面取付

 

±2.5%F.S.以内

±1.5%F.S. ±1 digit

 

 

 

±0.15%F.S./℃以下

(ゼロ+スパン)

     可燃性ガスの計測、および可燃性ガスの雰囲気で使用する場合は、本質安全防爆形のEMT1Hをご使用ください。

 

 

                                                 

お問い合わせ:

美浜株式会社                                     E-メール:info@ mihama.com

105-8437 
東京都港区虎ノ門1-2-8
Tel: 03-4570-38001
Fax: 03-4570-3803